HOME > 論文 > 書誌詳細気相蒸着(PVD,CVD)による薄膜の作製法.(Formation of Thin Films by Dry Processing (PVD,CVD).)武井厚, 武井厚. 材料科学 30 [2] 53-60. 1993.NIMS著者Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2016-05-24 11:33:49 +0900 更新時刻: 2017-01-08 00:04:00 +0900
