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著者名K. Nakamura, K. Ogawa, T. Hatano, T. Matsumoto, 中村恵吉, 羽多野 毅, 小川恵一, 松本武彦.
タイトルAnisotropic lattice strain and grain orientation of the Mo-BN sputtered films
掲載誌名Acta Metallurgica 34 [11] 2171-2176
ISSN: 00016160
発表年1986
言語unknown
ESIでのカテゴリ
DOIhttps://doi.org/10.1016/0001-6160(86)90162-8
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