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著者名Tokuyuki Teraji.
タイトルIsotopic enrichment of diamond using microwave plasma-assisted chemical vapor deposition with high carbon conversion efficiency
掲載誌名Thin Solid Films 557 231-236
ISSN: 00406090
ESIでのカテゴリ: MATERIALS SCIENCE
出版社Elsevier BV
発表年2014
言語English
DOIhttps://doi.org/10.1016/j.tsf.2014.01.018
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