Coordination and interface analysis of atomic-layer-deposition Al2O3 on Si(001) using energy-loss near-edge structures | 研究者総覧SAMURAI - 物質・材料研究機構 (NIMS)

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Coordination and interface analysis of atomic-layer-deposition Al2O3 on Si(001) using energy-loss near-edge structures
(EELSによるAl2O3/Si界面の化学結合状態の解析)

K. Kimoto, Y. Matsui, T. Nabatame, T. Yasuda, T. Mizoguchi, I. Tanaka, A. Toriumi.

Applied Physics Letters 83 [21] 4306-4308. 2003.

https://doi.org/10.1063/1.1629397

NIMS著者

木本浩司

Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット

作成時刻: 2016-05-24 12:00:27 +0900 更新時刻: 2026-09-26 04:15:22 +0900

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