1.5 MPa まで加圧された超流動ヘリウム中におけるシリコン圧力センサーの特性
(Characteristics of a silicon pressure sensor in syperfluid helium pressurized up to 1.5 MPa)
NIMS著者
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作成時刻: 2016-05-24 11:55:43 +0900 更新時刻: 2018-12-15 00:57:40 +0900