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Resonance Enhanced Multiphoton Ionization Detection of SiO Desorbing From a Si(111) Surface in Reaction With O2
(Si(111)表面酸反応で生成脱離するSiOnの共鳴多光子イオン化検出)

中村一隆, Kazutaka G. Nakamura, Masahiro Kitajima.
Applied Physics Letters 65 [19] 2445-2447. 1994.

NIMS著者


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      作成時刻: 2016-05-24 11:35:04 +0900更新時刻: 2024-07-04 04:20:42 +0900

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