イオンビーム照射法及びrf-sputtering法によって作製した窒化チタン薄膜の表面構造
(Surface Structure of Ion Beam Processed and rf-Sputered TiN Films)
NIMS著者
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作成時刻: 2016-05-24 11:37:02 +0900 更新時刻: 2018-12-15 00:47:32 +0900