HOME > 論文 > 書誌詳細TEM Observation of FIB Induced Damage in Metal/Silicon thin Films(集束イオンビームによるシリサイド／Si薄膜への照射損傷の電顕観察)田中美代子, 古屋一夫, 斎藤鉄哉. Nuclear Instruments and Methods in Physical Research Section B(Nucl.Inst.Meth.B) 98-101. 1997.NIMS著者Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2022-11-15 00:39:10 +0900更新時刻: 2022-11-15 00:39:10 +0900
