安定化アークカソードを用いた反応性真空アーク蒸着法による低Ｚ物質のその場被覆
(In-Situ Coating of Low-Z Materials by Reactive Vacuum Arc Deposition with a Stabilized Arc Cathode)
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2022-11-15 00:38:46 +0900 更新時刻: 2022-11-15 00:38:46 +0900