スパッタリング速度の定量的評価とそれを用いた表面組成回復速度の測定
(The Quantitative Evaluation of Sputtering Rate and Its Application to Measurement of Recovering Rate of Segregated Layer on Film)
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2016-05-24 11:36:48 +0900 更新時刻: 2018-12-14 22:24:36 +0900