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Deposition of BN films on metal substrates from a fluorine-containing plasma
(フッ素を含むプラズマからの金属基板上への窒化ホウ素膜の堆積)

Tatsumi Usamia, Tetsuo Asaji, Seiichiro Matsumoto, Hisao Kanda, Katsumitsu Nakamura.
Surface and Coatings Technology 203 [8] 929-933. 2009.
https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2008.06.017

NIMS著者

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      作成時刻: 2016-05-24 15:41:58 +0900 更新時刻: 2026-11-02 04:25:42 +0900

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