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著者名J Chen, T Sekiguchi, S Nara, D Yang.
タイトルThe characterization of high quality multicrystalline silicon by the electron beam induced current method
掲載誌名Journal of Physics: Condensed Matter 16 2 S211 S216
ISSN: 09538984 1361648X
発表年2004
言語English
DOI10.1088/0953-8984/16/2/025
ESIでのカテゴリPHYSICS
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