Large improvement of phosphorus incorporation efficiency in n-type chemical vapor deposition of diamond
(n型ダイヤモンドCVD成長におけるリン取込効率の大幅な改善)
NIMS著者
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作成時刻 :2016-05-24 17:43:23 +0900 更新時刻 :2022-09-05 14:33:42 +0900