スパッタ膜Ｍｏｎみられる内部応力の緩和パターン―その核形成と成長
(STRESS RELAXATION PATTERN OBSERVED IN SPUTTERED Mo FILM)
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2022-09-05 10:25:07 +0900 更新時刻: 2022-09-05 10:25:07 +0900