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Synthesis of thick and high quality cubic boron nitride films by r.f. bias assisted d.c. jet plasma chemical vapor deposition

J Yu, S Matsumoto.
Diamond and Related Materials 13 [9] 1704-1708. 2004.

NIMS著者


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      作成時刻: 2016-05-24 14:35:06 +0900 更新時刻: 2026-10-01 05:32:15 +0900

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