Multiphoton Louization Detection of SiO Molecule Formced by O2 Oxidation of Silicon Surface.
(シリコン表面のO2酸化で生成したSiO分子の多光子イオン化検出.)
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2016-05-24 11:34:35 +0900 更新時刻: 2026-10-01 05:29:52 +0900