活性化イオンプレーティングによるＭｏの窒化アルミ被覆およびその蒸着機構
(Preparation of Aluminum Nitride Coatings on Mo by rf-Ion-Plating and Its Deposition Mechanism)
NIMS著者
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作成時刻: 2016-05-24 11:26:17 +0900 更新時刻: 2025-04-16 06:10:39 +0900