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著者名Masao Fukutomi, Masakazu Fujitsuka, Masatoshi Okada.
タイトルComparison of the properties of ion-plated titanium carbide films prepared by different activation methods
掲載誌名Thin Solid Films 120 4 283 292
ISSN: 00406090
発表年1984
言語unknown
DOI10.1016/0040-6090(84)90243-8
ESIでのカテゴリMATERIALS SCIENCE
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