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著者名Bin Chen, Jun Chen, Takashi Sekiguchi, Takasumi Ohyanagi, Hirofumi Matsuhata, Akimasa Kinoshita, Hajime Okumura.
タイトルElectrical and Optical Properties of Stacking Faults in 4H-SiC Devices
掲載誌名Journal of Electronic Materials 39 6 684 687
ISSN: 03615235 1543186X
発表年2010
言語English
DOI10.1007/s11664-010-1168-6
ESIでのカテゴリMATERIALS SCIENCE
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