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反応性プラズマ蒸着法による酸化亜鉛透明電導膜の製膜とその物性

山本哲也, 酒見俊之, 長田 実, 粟井清, 岸本誠一, 牧野久雄, 山田高寛.
機械の研究 57 [11] 1142-1150. 2005.

NIMS著者


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    作成時刻: 2016-05-24 14:51:29 +0900更新時刻: 2018-12-15 01:25:28 +0900

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