Sub-10 nm crystalline silicon nanostructures by electron beam induced deposition lithography
(電子ビームのデポのリソグラフィーでシリコンのナノ構造 )
NIMS著者
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作成時刻: 2016-05-24 16:07:53 +0900 更新時刻: 2026-10-30 08:59:47 +0900