Manifold enhancement of electron beam induced deposition rate at grazing incidence
(険角度によって電子ビームでデポのレートの多重の増加)
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2016-05-24 15:55:29 +0900更新時刻: 2024-03-31 17:57:51 +0900