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Plasma etching of TEM samples for observing grain boundaries in silicon nitride

末松久幸, BANDO, Yoshio, 三友護.

NIMS著者


Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット


    作成時刻: 2022-09-05 10:44:11 +0900 更新時刻: 2022-09-05 10:44:11 +0900

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