HOME > Article > Detailサドルフィールド形イオン源によるBN薄膜の作製における窒素イオンの役割田中耕二. 電子情報通信学会論文誌 191-193. 1996.NIMS author(s)Fulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)Created at: 2022-09-05 10:45:53 +0900 Updated at: 2022-09-05 10:45:53 +0900
