Preparation of Silicon Carbide Films on Molybdenum by RF Reactive Ion Plating | 研究者総覧SAMURAI - 物質・材料研究機構 (NIMS)

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(Preparation of Silicon Carbide Films on Molybdenum by RF Reactive Ion Plating)

M.Fukutomi, M.Okada, R.Watanabe, M.Fukutomi, M.Okada, R.Watanabe.

金属表面技術 33 119. 1982.

NIMS著者

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作成時刻: 2016-05-24 11:22:04 +0900 更新時刻: 2018-12-14 23:31:13 +0900

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