Ti基板状に蒸着したNb膜上へのTi薄膜の析出とそのゲッターポンプ作用.
(Precipitation of Ti Thin Film onto Nb Film Deposited on Ti Substrate.)
NIMS著者
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作成時刻: 2016-05-24 11:31:56 +0900更新時刻: 2018-12-14 21:55:55 +0900