HOME > 論文 > 書誌詳細SiCの減圧熱プラズマCVD.(Thermal Plasma CVD of SiC under Reduced Pressure.)村上 秀之, 樋口公博, 吉田豊信, 樋口公博, 吉田豊信. 日本金属学会誌 56 [4] 452-458. 1992.NIMS著者村上 秀之Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2016-05-24 11:32:57 +0900更新時刻: 2018-12-14 23:02:36 +0900
