Formation of Crystalline Si Nanodots in SiO2 Films by Electron Irradiation
(電子ビーム照射によるSiO2中への結晶性Siナノドットの形成)
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Created at: 2016-05-24 11:54:40 +0900 Updated at: 2026-09-28 04:34:13 +0900