Formation of Crystalline Si Nanodots in SiO2 Films by Electron Irradiation
(電子ビーム照射によるSiO2中への結晶性Siナノドットの形成)
NIMS著者
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作成時刻: 2016-05-24 11:54:40 +0900更新時刻: 2024-04-30 04:40:30 +0900