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Effect of silicon preimplantation on carbon nitride formation by nitrogen implantation into glassy carbon
(グラス状炭素への窒素注入による窒化炭素構成におけるシリコンの注入効果)

K. Takahiro, H. Habazaki, S. Nagata, M. Kishimoto, S. Yamaguchi, F. Nishiyama, S. Nimori.
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms 152 [2-3] 301-306. 1999.
https://doi.org/10.1016/s0168-583x(99)00116-0

NIMS著者

Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット

    作成時刻: 2016-05-24 11:55:04 +0900 更新時刻: 2026-11-04 05:41:36 +0900

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