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GaAs growth by atomic layer epitaxy using diethylgalliumchloride

著者Kazuo Mori, Masaji Yoshida, Akira Usui, Hiroshi Terao.
掲載誌名Applied Physics Letters 52 [1] 27-29
ISSN: 00036951, 10773118
ESIでのカテゴリ: PHYSICS
出版社AIP Publishing
発表年1988
言語English
DOIhttps://doi.org/10.1063/1.99306
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