HOME > 論文 > 書誌詳細Synthesis of cubic boron nitride films with mean ion energy of a few eV(数eVの平均イオンエネルギーによる立方晶窒化ホウ素膜の作成)Kungen Teii, Ryota Yamao, Toshifumi Yamamura, Seiichiro Matsumoto. Journal of Applied Physics 101 [3] 033301. 2007.https://doi.org/10.1063/1.2431401 NIMS著者Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2016-05-24 15:12:19 +0900 更新時刻: 2026-11-02 05:40:53 +0900