Growth mechanism of c-axis-oriented AlN on (0 0 1) diamond substrates by metal-organic vapor phase epitaxy
(MOVPE法により成長させた(001)ダイヤモンド基板上のAlNの成長メカニズム)
NIMS著者
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作成時刻: 2016-05-24 15:57:48 +0900更新時刻: 2024-04-02 05:54:38 +0900