X線反射投影を用いた埋もれた薄膜界面の可視化
(Visualization of Buried Interfaces of Thin Films by Using X-ray Reflection Projections)
著者 | 桜井 健次, 蒋 金星. |
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掲載誌名 | 表面科学 38 [9] 448-454 ISSN: 03885321, 18814743 |
出版社 | 公益社団法人 日本表面科学会 |
発表年 | 2017 |
言語 | Japanese |
DOI | https://doi.org/10.1380/jsssj.38.448 |
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