Influence of experiment parameters on the growth of cBN films by bias-assisted DC jet plasma chemical vapor deposition | 研究者総覧SAMURAI - 物質・材料研究機構 (NIMS)

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Influence of experiment parameters on the growth of cBN films by bias-assisted DC jet plasma chemical vapor deposition

ZHANG Wenjun (張文軍), 松本精一郎.

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH 2677-2683. 2000.

NIMS著者

Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット

作成時刻: 2022-09-05 11:01:12 +0900 更新時刻: 2022-09-05 11:01:12 +0900

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