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サドルフィールド型イオン源によるB-C-N薄膜の作製

田中耕二.

NIMS著者


    Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット


      作成時刻: 2022-09-05 10:42:05 +0900 更新時刻: 2022-09-05 10:42:05 +0900

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