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(Erosion Behavior of Physically on Molybdenum During Oxygenated Argon Beam Thinning)

T.Shikama, M.Fukutomi, M.Okada, T. Shikama, M. Kitajima, M. Fukutomi, M. Okada.
Thin Solid Films 117 [3] 191-199. 1984.
https://doi.org/10.1016/0040-6090(84)90286-4

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      作成時刻: 2016-05-24 11:21:46 +0900更新時刻: 2024-04-01 18:05:21 +0900

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