Growth of cBN films by dc-bias assisted inductively coupled rf plasma chemical vapor deposition
(直流バイアス印加高周波誘導プラズマCVDによるcBN膜合成)
NIMS著者
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作成時刻: 2016-05-24 11:59:39 +0900 更新時刻: 2025-10-20 04:54:42 +0900