炭化チタンなどの物理的セラミックス蒸着法へのプラズマ過程の応用
(Application of Plasma Processes to PVD-Ceramic Coatings,Suchas Titanium Carbide Coatings.)
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2016-05-24 11:29:39 +0900更新時刻: 2018-12-14 22:24:03 +0900