HOME > 論文 > 書誌詳細Some Properties of Thin Aluminium Nitride Films Formed in a Glow Discharge上村揚一郎, 岩田稔, 田中耕二. Thin Solid Films 11. 1974.NIMS著者Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2022-09-05 10:18:53 +0900更新時刻: 2022-09-05 10:18:53 +0900
