安定化アーク陰極を有する反応性真空アーク蒸着による低Ｚ物質のその場被覆
(In-Situ Coatings of Low-Z materials by Reactive Vacuum Arc Deposition with a stabilzed Arc Cathode)
NIMS著者
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作成時刻: 2022-11-15 00:38:45 +0900更新時刻: 2022-11-15 00:38:45 +0900