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ＰＶＤ―及びＣＶＤ―法でＭｏ上に被覆したＳｉＣのＡｒビームによるスパッタリング特性
(Erosion Behavior of PVD-and CVD-SiC Films Coated on Mo during He Beam Thinning)

四＊樹男, 福富勝夫, 北島 正弘, 岡田雅年, 吉田平太郎, 渡辺亮治, T. Shikama, M. Fukutomi, M. Okada, 四＊樹男, 福富勝夫, 北島 正弘, 岡田雅年, 吉田平太郎, 渡辺亮治.
Thin Solid Films 117 [3] 191-199. 1984.

NIMS著者

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      作成時刻: 2016-05-24 11:26:36 +0900更新時刻: 2019-01-07 00:53:56 +0900

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