モリブデン上にイオンプレートされたシリコンナイトライド皮膜中のピンホールのエレクトログラフ法による検出
(Electrographic Detection of Pinholes in Ion-Plated Silicon Nitride Film on Molybdenum)
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2016-05-24 11:25:30 +0900更新時刻: 2018-12-15 00:13:09 +0900