HOME > 論文 > 書誌詳細低ZTiC,TiN膜の残留応力(Residual stress in Coated Low- Films of Tic and TiN)鎌田耕治, 福富勝夫. J.Nucl.Mater 1320. 1984.NIMS著者Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2022-11-15 00:38:44 +0900 更新時刻: 2022-11-15 00:38:44 +0900
