Microscopic observations of Si(100) TEM film locally milled by a Ga+focused ion beam
(Ga+集束イオンビームで局所加工したSi(100)TEM試料のミクロ観察)
NIMS著者
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作成時刻: 2016-05-24 11:22:53 +0900更新時刻: 2024-03-31 17:31:52 +0900