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Characterization of the behavior of chemically reactive species in a nonequilibrium inductively coupled argon-hydrogen thermal plasma under pulse-modulated operation

Rubin Ye, Takamasa Ishigaki, Hiroyuki Taguchi, Shigeru Ito, Anthony B. Murphy, Hubert Lange.

Journal of Applied Physics 100 [10] 103303. 2006.

https://doi.org/10.1063/1.2364623

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作成時刻: 2016-05-24 15:05:22 +0900 更新時刻: 2026-11-01 05:27:04 +0900

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