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patent	2019140547	ダイヤモンド構造体、ダイヤモンド・カンチレバー、およびダイヤモンド構造体の製造方法	2019	2024-04-20 18:52:33 +0900
patent	2012182396	紫外光検出デバイス及びその製造方法	2012	2024-04-20 18:52:33 +0900