publication_type publication_year number author title event_name doi reported_at Presentation 2023 1 大島 祐一, 大島 孝仁 (001) β-Ga2O3基板に対するHClガスエッチングの温度とHCl分圧依存性 第84回応用物理学会 秋季学術講演会 2023-09-26 21:57:58 +0900 Presentation 2023 2 高根 倫史, 大島 孝仁, 田中 勝久, 金子 健太郎 r-GexSn1–xO2の成長機構とコヒーレント薄膜の作製 第84回応用物理学会 秋季学術講演会 2023-09-26 21:57:58 +0900 Presentation 2023 3 TAKANE, Hitoshi, 大島 孝仁, TANAKA, Katsuhisa, KANEKO, Kentaro Selective area growth of r-SnO2 on r-TiO2 (110) substrate Compound Semiconductor Week 2023 2023-09-26 21:57:58 +0900 Presentation 2023 4 大島 孝仁, 大島 祐一 HCl gas etching of (010) and (001) β-Ga2O3 substrates for the fabrication of plasma-damage-free trenches and fins Compound Semiconductor Week 2023 2023-09-26 21:57:58 +0900 Presentation 2023 5 大島 孝仁, 大島 祐一 (001)面β-Ga2O3基板に対する異方性HClガスエッチング 2023年 第70回応用物理学会春季学術講演会 2023-09-26 21:57:58 +0900 Presentation 2023 6 高根 倫史, 大島 孝仁, 田中 勝久, 金子 健太郎 TiO2 (110)基板上のルチル型SnO2の選択成長 2023年 第70回応用物理学会春季学術講演会 2023-09-26 21:57:58 +0900 Presentation 2023 7 大島 孝仁, 大島 祐一 (010)面β-Ga2O3基板に対する異方性HClガスエッチング 2023年 第70回応用物理学会春季学術講演会 2023-09-26 21:57:58 +0900 Presentation 2023 8 高根 倫史, 大島 孝仁, 田中 勝久, 金子 健太郎 TiO2基板上に選択成長したルチル型SnO2の成長ダイナミクス 2023年日本セラミックス協会年会 2023-09-26 21:57:58 +0900 Presentation 2023 9 大島 孝仁, 大島 祐一 β型酸化ガリウム半導体の選択成長 SATテクノロジー・ショーケース2023 2023-09-26 21:57:58 +0900 Presentation 2022 1 大島 孝仁, 大島 祐一 Selective-area-grown high-aspect-ratio β-Ga2O3 structures fabricated by HCl-based halide vapor phase epitaxy The 4th International Workshop on Gallium Oxide and Related Materials 2023-09-26 21:57:58 +0900 Presentation 2022 2 大島 孝仁 Self-aligned photolithography using backside exposure through metal patterns on β-Ga2O3 substrates The 4th International Workshop on Gallium Oxide and Related Materials 2023-09-26 21:57:58 +0900 Presentation 2022 3 大島 孝仁, 大島 祐一 HCl支援ハライド気相成長法を用いたβ-Ga2O3の選択成長 2022年 第83回応用物理学会秋季学術講演会 2023-09-26 21:57:58 +0900 Presentation 2022 4 大島 孝仁 β-Ga2O3基板上の金属パターンをマスクとした裏面露光リソグラフィ 2022年 第83回応用物理学会秋季学術講演会 2023-09-26 21:57:58 +0900