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- 305-0044 1-1 Namiki Tsukuba Ibaraki JAPAN [Access]
Research
- Keywords
ナノクリスタルダイヤモンド、低圧誘導結合プラズマ、CVD
PublicationsNIMS affiliated publications since 2004.
Published patent applications
Society memberships
応用物理学会
Research Center for Electronic and Optical Materials
Title
低圧誘導結合プラズマ CVDによるナノクリスタルダイヤモンドの合成
Keywords
ナノクリスタルダイヤモンド,低圧誘導結合プラズマ,CVD
Overview
プラズマCVDにより合成されるダイヤモンド薄膜において、nmオーダーに制御された超微小結晶を精緻に合成し、3次元構造化することにより、超平担性、超硬度性、超潤滑性、また新たな化学的、電気的特性の発現が期待されています。
Novelty and originality
低圧誘導結合プラズマ CVDによるナノクリスタルエンジニアリングを確立し(図1)、優れたトライボロジー特性(超平坦性、超硬度性、超潤滑性)を有する、nmオーダーに制御された超微小結晶のナノクリスタルダイヤモンド薄膜の合成を目指します。
Details
Summary
● nmオーダーで制御された結晶表面の超平滑性、超潤滑性(ゼロ摩擦係数)による省エネルギー化
● 量子サイズ効果の発現による紫外線発光材料
この機能は所内限定です。
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