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Research

Keywords

ナノ構造、機能探索、第一原理解析

PublicationsNIMS affiliated publications since 2004.

Books
Proceedings
Patents
  • No. 4997435 絶縁膜用材料およびその成膜方法 (2012)
  • No. 4887342 誘電体導波路及びその製造方法 (2011)
  • No. 5505680 絶縁膜材料、この絶縁膜材料を用いた成膜方法および絶縁膜 (2014)
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