publication_type article_identifier title year reported_at patent 2019009402 太陽電池およびその製造方法 2019 2025-02-19 07:46:17 +0900 patent 2016100444 薄膜太陽電池用三次元微細構造パターン基板と薄膜太陽電池 2016 2025-02-19 07:46:17 +0900 patent 2013042015 プラズマプロセス装置 2013 2025-02-19 07:46:17 +0900 patent 2007214296 プラズマプロセス装置 2007 2025-02-19 07:46:17 +0900